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基于MEMS电阻式压力传感器的设计

杜志1 贺建波2

1.阿坝师范学院；2.重庆市地质环境监测站

摘要: 设计了一种应用于岩土工程中电阻式压力传感器。借助于微机械工艺(MEMS)在高弹性体聚二甲基硅氧烷(PDMS)内部嵌入微流孔,并填充新型液态金属(eGaIn)作为传感器的核心区域。结果表明:相对于传统压力传感器,采用软光刻技术微流孔尺寸可以达到μm级,精度更高;采用无毒,导电性好的新型材料液态金属,其适用性更广。
关键词: 高弹性体(PDMS)；液态金属(eGaIn)；压力传感器；
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