封装残余应力对MEMS加速度计输出特性影响
焦静静1 石云波1 赵永祺1 张婕1 米振国1 康强2
1.中北大学电子测试技术重点实验室；2.中国兵器工业试验测试研究院
摘要: 针对微机械系统(MEMS)加速度计封装过程中引入的残余应力进行测量和分析。采用简支梁模型对有无残余应力下的传感器敏感结构进行挠度计算。最终使用拉曼光谱仪和霍普金森杆进行试验,验证了残余应力会降低加速度计的输出灵敏度,有效的封装能抵消部分芯片制作过程中的残余应力,提高传感器的灵敏度的结论。
关键词:
微机械系统；压阻式加速度计；残余应力；封装；输出特性；
微机械系统；压阻式加速度计；残余应力；封装；输出特性
