摘要: 基于压电陶瓷精密微位移系统的扫描探测技术是目前精密测量仪器进行微纳区域/结构性能测试的核心系统，但压电陶瓷材料存在迟滞、非线性问题，限制了对微位移分辨能力的提升.本文以金刚石氮空位色心为敏感单元，利用电子自旋效应对磁场强度的高分辨敏感机理，结合永磁体周围不同位置对应的磁场强度变化关系，提出了一种基于金刚石氮空位色心电子自旋敏感机理的微位移检测方法.通过建立电子自旋效应与微位移的关联模型，搭建了相应的微位移测量系统.经实验验证，该系统对微位移测试的灵敏度为16.67 V/mm，检测分辨率达到60 nm，实现了对微位移的高分辨率测量.并通过理论分析，该系统的微位移测量分辨率可进一步提升至亚纳米级水平，为新型微位移测量技术提供了发展方向和研究思路.