摘要: 磁场穿透深度是联系超导体宏观电动力学与微观机制的重要物理量，其精确测量对于研究超导机理以及探索超导应用具有重要意义.在众多的磁场穿透深度测量方法中，双线圈互感法具有测量精度高、技术相对成熟、对样品没有破坏等优点，可被用于细致地研究超导薄膜的磁场穿透深度对温度、掺杂、外延应力等参量的依赖关系.本文首先简要介绍了双线圈互感法的基本原理，指出该方法的测量精度主要受系统几何参数及薄膜边缘漏磁的影响；之后对自主设计搭建的透射型双线圈互感装置进行了系统的校验，并详细说明了其测量精度:对于厚度为100 nm，穿透深度为150 nm的典型薄膜样品，穿透深度绝对值的测量误差小于10%；最后通过测量Nb N超导薄膜的磁场穿透深度进一步检验了装置的精度，分析表明穿透深度的测量值与文献报道结果符合.