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基于半导体工艺的设备调平技术

蔡颖岚 邓学文 全晓辉 杨滨

​重庆声光电有限公司

摘要: 半导体工艺基本流程和要求,调平在各主要工艺中的必要性。调平分为调与测2个步骤,几种常用测平工具和方法和在工艺调平中的应用。
关键词: 半导体工艺；调平；CCD；水平仪；千分表；准直仪；
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