摘要: 压电陶瓷驱动器本身具有的迟滞特性给微纳操纵技术的发展带来了严重影响，为提高压电微定位平台的高精度轨迹跟踪控制，文章首先从PZT的电学特征及压电微定位平台的动力学特性两方面进行分析，建立了压电微定位平台的数学模型。基于传统PID控制算法，提出了一种自适应模糊PID控制算法，在该算法中充分运用模糊控制理论的方法对PID的3个参数进行在线自调整。实验结果表明，自适应模糊PID控制方法较传统PID控制降低了系统超调量，缩短了系统响应时间。