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高过载MEMS环形陀螺制造与测试

作者: 张英杰1,2 康强3 曹慧亮1,2 石云波1,2 刘俊1,2 单位： 1.中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室；2.中北大学电子测试技术国防科技重点实验室；3.中国兵器工业试验测试研究院下载量：14 浏览量：467

全文下载：PDF DOI：出刊日期：2025-04-16

封装残余应力对MEMS加速度计输出特性影响

作者: 焦静静1 石云波1 赵永祺1 张婕1 米振国1 康强2 单位： 1.中北大学电子测试技术重点实验室；2.中国兵器工业试验测试研究院下载量：15 浏览量：482

全文下载：PDF DOI：出刊日期：2025-04-16

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