文章标题
作者姓名
关键词
单位名称
检索
AI智能检索
学术期刊
首页
文章
期刊
投稿
首发
学术会议
图书中心
新闻
新闻动态
科学前沿
合作
我们
一封信
按学科分类
按期刊分类
医药卫生
(24)
工程技术
(42)
数学与物理
(12)
经济与管理
(12)
人文社科
(44)
化学与材料
(9)
信息通讯
(10)
地球与环境
(25)
生命科学
(2)
首页
>
高精度位移测量系统硬件在环仿真优化设计
DOI
:
,
PDF
下载:
41
浏览: 472
作者
:
杨松1,2
;
张文涛1
;
熊显名1
;
王献英1
;
作者单位
:
1.桂林电子科技大学电子工程与自动化学院;2.上海微电子装备(集团)股份有限公司
;
关键词
:
多核DSP
;
硬件在环
;
精密测量
;
掩模台
;
光刻机
;
摘要:
设计了一种基于多核DSP的高精度位移测量系统硬件在环仿真平台。本平台拥有以下优点:数值计算板卡内嵌多核DSP计算核心;多个计算核心并行处理测量模型;一块板卡同时输出多组位置信息。本平台采用了多核DSP特有的共享内存机制,从而缩短了模型内部数据通讯时间,最终缩短了单次多组测量模型的运算时间。实验结果表明,本仿真平台模型计算精度达到0.431nm,整体单次运行时间为14.242us。经优化设计后的硬件在环仿真平台模型计算精度提高了0.359nm,系统运行时间缩短了17.110us,所以该平台具有更广阔的工程应用前景。
投稿
相关文章
自粘接流动树脂的研究进展
中医药治疗胃癌的分子机制及重塑免疫微环境的研究进展
智能化消防技术在老旧建筑安全保障中的应用
易经对数学的启示
一种预警性医用输液贴的设计与效果评价
学术共建
清华大学出版社
北大中文系
国家工程技术数字图书馆
维普网
万方数据库
版权所有 © 2025 世纪中文出版社
京ICP备2024086036号-2