采用溶胶-凝胶法在硅基板上先分别制备钇稳定氧化锆(YSZ)和钛酸锶(STO)两种薄膜缓冲层.再以钇、钡和铜的醋酸盐为起始原料,选用三种络合剂,配制出了均匀、稳定的YBCO溶胶;采用提拉法,分别在不同过渡层上制备了YBCO薄膜.进一步对YBCO纳米薄膜的热处理工艺、薄膜形貌和微观组织结构进行了初步研究。