文中提出一种基于电容位移传感器测量金属球的非接触三维定位方法。通过理论与实验方法研究了定位精度的影响因素,发现定位精度与传感器的参数、金属球球径、传感器与金属球表面之间的距离等参数有关。通过优化参数设计实验,采用CSH02FL-CRm1,4电容式微位移传感器获得了小于2μm的x、y方向定位精度,小于0.1μm的z方向定位精度。