世纪中文出版社

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半导体工艺可靠性

叶利福

摘要:

关键词: 978-988-45896-7-2

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半导体制造作为微电子与集成电路行业中非常重要的环节，其工艺可靠性是决定芯片性能的关键。本书详细描述和分析了半导体器件制造中的可靠性和认定，并讨论了基本的物理和理论。