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高精度位移测量系统硬件在环仿真优化设计
杨松1,2 张文涛1 熊显名1 王献英1
1.桂林电子科技大学电子工程与自动化学院;2.上海微电子装备(集团)股份有限公司
关键词: 多核DSP;硬件在环;精密测量;掩模台;光刻机
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