摘要: 硅压阻式差压传感器受硅片和封装介质温度特性的影响,温变时,传感器输出呈现明显的非线性。文中提出一种全新温度补偿方法,采用基本RBF网络确定网络隐含层节点数,建立自适应SOM网络得到RBF网络中心值,采用FOA对RBF网络扩展参数进行寻优得到最终优化RBF网络,最后将测试数据输入网络得到补偿输出。结果表明:补偿精度随着RBF网络的优化逐步提升,补偿后平均最大相对误差精度为9.642 7×10-4,相对均方误差精度为2.476 2×10-7。模型输出结果验证了算法用于硅压力传感器温度补偿的有效性,抑制了温度对传感器输出的影响。