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微纳结构柔性压力传感器的制备及应用
熊耀旭1,2 胡友根1 朱朋莉1 孙蓉1 汪正平3
1.中国科学院深圳先进技术研究院;2.中国科学院大学深圳先进技术学院;3.佐治亚理工学院
关键词: 柔性电子;柔性压力传感器;微纳结构;压阻式;电容式
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