"自上而下"制作硅化镍纳米线 下载：94 浏览：492

罗强 岳双林 顾长志 《纳米技术研究》 2023年3期

摘要: 提出了"自上而下"制作硅化镍纳米线的方法,研究了制备出的纳米结构的形成过程及微观形貌.这种金属硅化物纳米线的制作方法对于集成电路制造很有应用价值。