"自上而下"制作硅化镍纳米线
罗强 岳双林 顾长志
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罗强 岳双林 顾长志,. "自上而下"制作硅化镍纳米线[J]. 纳米技术研究,20233. DOI:.
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摘要: 提出了"自上而下"制作硅化镍纳米线的方法,研究了制备出的纳米结构的形成过程及微观形貌.这种金属硅化物纳米线的制作方法对于集成电路制造很有应用价值。
关键词: 硅化镍；纳米线；制备技术；自上而下；
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纳米技术研究
ISSN：3078-9435
所属期次： 20233
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