纳机电系统研究进展 下载：57 浏览：441

何洋1 姜澄宇2 苑伟政3 《纳米技术研究》 2022年1期

摘要: 综述了纳机电系统(NEMS)的研究进展;介绍了美国与欧洲在NEMS军用和航空航天领域的研究目标和进展,以及一些典型NEMS器件的应用;讨论了NEMS检测与表征技术以及NEMS制造技术;探讨了NEMS研究发展趋势。