纳机电系统研究进展
何洋1 姜澄宇2 苑伟政3
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何洋1 姜澄宇2 苑伟政3,. 纳机电系统研究进展[J]. 纳米技术研究,20221. DOI:.
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摘要: 综述了纳机电系统(NEMS)的研究进展;介绍了美国与欧洲在NEMS军用和航空航天领域的研究目标和进展,以及一些典型NEMS器件的应用;讨论了NEMS检测与表征技术以及NEMS制造技术;探讨了NEMS研究发展趋势。
关键词: 纳机电系统；纳米技术；航空航天；
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纳米技术研究
ISSN：3078-9435
所属期次： 20221
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