纳机电系统研究进展
何洋1 姜澄宇2 苑伟政3
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参考文献( GB/T 7714-2015 ) 复制

何洋1 姜澄宇2 苑伟政3,. 纳机电系统研究进展[J]. 纳米技术研究,20221. DOI:.
摘要: 综述了纳机电系统(NEMS)的研究进展;介绍了美国与欧洲在NEMS军用和航空航天领域的研究目标和进展,以及一些典型NEMS器件的应用;讨论了NEMS检测与表征技术以及NEMS制造技术;探讨了NEMS研究发展趋势
关键词: 纳机电系统;纳米技术;航空航天
DOI:
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