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半导体工艺控制设备在工业自动化中的应用与挑战 下载：192 浏览：941

​邵煜尧 《电路系统研究》 2024年4期

摘要:
半导体工艺控制设备是现代工业自动化的核心，在晶圆制造、芯片封装、测试和质量控制以及生产线管理中发挥关键作用。这些设备具有高精度、高自动化和严格洁净度要求的特点，能在纳米级别进行操作和控制。然而，高初始投资成本、快速技术更新、系统集成复杂性和人才需求等挑战也随之而来。
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