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高精度位移测量系统硬件在环仿真优化设计 下载：41 浏览：390

杨松1，2 张文涛1 熊显名1 王献英1 《中国仪器》 2020年7期

摘要:
设计了一种基于多核DSP的高精度位移测量系统硬件在环仿真平台。本平台拥有以下优点:数值计算板卡内嵌多核DSP计算核心；多个计算核心并行处理测量模型；一块板卡同时输出多组位置信息。本平台采用了多核DSP特有的共享内存机制，从而缩短了模型内部数据通讯时间，最终缩短了单次多组测量模型的运算时间。实验结果表明，本仿真平台模型计算精度达到0.431nm，整体单次运行时间为14.242us。经优化设计后的硬件在环仿真平台模型计算精度提高了0.359nm，系统运行时间缩短了17.110us，所以该平台具有更广阔的工程应用前景。

掩模台水平向的二维衍射平面光栅测量模型验证 下载：61 浏览：351

郝春晓1 张文涛1 王献英2 黄逊志2 《中国仪器》 2019年10期

摘要:
为了降低掩模台位置测量的位置误差，首先阐述了二维衍射平面光栅尺在掩模台上的布局与信号采集模块；然后运用两个二维衍射平面光栅尺建立掩模台位置测量模型；最后以双频激光干涉仪作为参考测量系统，对比两个测量系统的不确定度。实验证明:二维衍射平面光栅尺测量系统的不确定度比较低，可以有效地实现掩模台的三自由度位置超高精密测量。
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