【引言】集成电路制造过程应最大限度上保证质量，主要与因为其是客体的一组固有特性满足要求的程度，可靠性是产品制造后安全使用的保证，具体包括设计可靠性、制造可靠性、使用可靠性。影响集成电路制造质量、安全可靠性的因素非常多，为了能够实现标准化制造目标，就要从多个角度出发，制定针对性的管理方案，满足产品设计要求，提高集成电路制造企业的综合实力。
1集成电路制造过程中的质量保障要点
1.1做好制度建设工作
集成电路制造企业应在源头上防止发生产品制造质量不达标的问题，在完成基础管理制度这项工作中投入较多的时间和精力。通常情况下，班组建设期间会涉及多个方面的制度，具体包括员工岗位职责说明书、员工管理办法、质量追责管理办法等；生产车间通用的管理制度有工艺文件、检验文件、作业指导书等。做好上述各个方面的制度建设工作，合理划分各个岗位的工作职责，详细介绍工艺制度管理要求、细化各种工艺的规程等，避免出现工艺应用行为缺乏规范性的问题，实现高效有序制造目标。
1.2显著提高员工专业技能
集成电路制造企业注重开展全院性的质量培训工作，主要的目的就是让生产一线的员工精准确定相关需求、当前研究方向，之后采取工艺创新、提高设备运行能力、提升员工专业技能多种措施，保证具备较强的生产控制力，保证产品质量符合标准要求。与此同时，在车间发放质量文化手册、质量月刊，积极组织开展针对性的质量提升举措讨论会、技能竞赛活动，让各个岗位员工正确认识保证质量的重要性。考虑到批生产首件检验、工序一级检验结果会对装结和键合工序的工艺参数调整情况造成影响，就要对检验人员的专业能力提出严格要求，并对MSA测量系统分析法、Kappa系数判断检验人员的能力是否处于一致状态。
1.3适当加大绩效考核力度
集成电路制造过程中保证质量不能忽视绩效考核工作，如在每组成员的生产工作考核中加入生产任务、质量要求、工艺纪律多个方面的内容，不仅要以此为依据严格规范工作人员的操作行为，也要合理细化班组设备的维修、分区管理责任[1]。通常以识别关键的KPI为主，如果是工序技术员、一线操作工人、班组长等同质化比较高的岗位，就要全面实行积分制激励，完善员工积分评级管理制度，将其日常工作态度、工作积极主动性、完成效果与部门目标进行对照检查，量化评价的基础上，给予针对性的奖励和惩罚。
2集成电路制造过程中可靠性管理方法
2.1标准化作业
对于“作业指导书”而言，其是操作员日常工作中的核心依据、基础资料。实际检验作业指导书是否具备有效性期间，要求新员工严格按照其中的要求落实工作，最终制造的产品如果处于“合格”状态，就代表作业指导书有效，这样无论谁按照其中的要求操作都不会发生影响产品质量的问题。受到风险思维的影响，一般会在事前对生产制造期间的各类风险进行识别，并应用PFMEA将以往存在的质量问题录入知识经验库，并在作业指导书中融入针对性的处理措施相关内容。
集成电路制造企业为了实现标准化作业目标，组建作业指导书编辑专项工作组，主要负责策划和事前培训FMEA工具、MSA、风险管理、工艺优化多个方面的专业知识。小组成员借助PFMEA失效模式分析表，细致分析并总结各个工序潜在的失效原因、发生频率、影响程度，形成知识库。以“半导体集成电路在高温贮存试验”为例进行分析，一旦出现放置产品操作行为缺乏规范性的问题，就会导致管脚变形或表面划伤，对此将产品放置方面的防护要求融入其中，并要将防静电台垫、防静电指套作为基础保障条件。
2.2SPC控制
这项内容具体是指统计过程控制方面的内容，借助统计技术监控生产制造期间的各个工序，并要动态分析和控制工序能力，保证集成电路制造过程具有较强的稳定性和可靠性。对于生产车间而言，应将工序的特征作为依据完成工艺参数选取任务[2]。例如：芯片组装过程中粘、烧结芯片和陶瓷管基，而具体的粘、烧接强度会对后续的键合、封帽工序、产品可靠性造成直接影响，对此就要将芯片剪切力作为控制点。此外，也要严格管控测量的设备，防止发生精度低和测量能力差的问题。
2.3组织开展QC活动
集成电路制造过程中的质量管控工作十分关键，可以通过组织开展质量管理小组（QC）活动的方式，借助群众性质量提升活动，达到帮助企业提高质量管理效果和提质增效的目的。在此期间，始终都要围绕集成电路制造企业的经营、管理、工艺创新、服务效果提升等内容进行讨论，并要应用PDCA循环逻辑和管理方法，科学合理地改进集成电路制造过程，甚至需要依托鱼骨图、关联图等工具剖析质量问题，确定末端因素的基础上依据确认标准进行确认。除此之外，需要根据关键因素按照标准要求采取措施，细致检查对策实施之后的实际情况，保证持续性改进工作有序开展，进一步提高集成电路制造质量和可靠性管理效果。
结束语：
总之，集成电路制造过程的质量控制和可靠性管理工作至关重要，落实工作期间应从多个角度出发，并在精准确定质量管控要点的基础上，优化可靠性管理方式，为后续推动集成电路制造企业稳定发展提供保障。
参考文献：
[1] 袁尔千,李阳.集成电路制造过程中的质量与可靠性管理分析[J].集成电路应用,2021,40(02):25-27.
[2] 白新明,彭博,郭静涛.集成电路制造工厂的冰水系统阀门维护[J].集成电路应用,2021,38(09):20-22.
