高灵敏度MEMS压力传感器的设计与模型仿真
李阳 曹民 胡秀娟
生成PDF 清样下载 引用

复制成功

导出题录

参考文献( GB/T 7714-2015 ) 复制

李阳 曹民 胡秀娟,. 高灵敏度MEMS压力传感器的设计与模型仿真[J]. 数据与科学,2018.2. DOI:.
摘要:
针对人工智能领域,研究人员对高灵敏度的的微型压力传感器的迫切需求,设计基于惠斯通电桥的MEMS压力传感器。相比于其他传感器,微机电压力传感器尺寸更小,灵敏度更高。传感器表面的压敏薄膜中制有惠斯通电桥电路,电桥的输出电压与应力大小呈线性关系,输出电压的大小则表示压敏薄膜的灵敏度高低。通过ANSYS软件建模仿真来研究压敏薄膜的尺寸,材料与结构,找出薄膜参数与传感器灵敏度的数据关系,借助数据分析得出最优的设计选择。
关键词: MEMS传感器;人工智能;数据分析;高灵敏度
DOI:
基金资助:

》在线投稿系统

*文章题目:
*作者姓名:
*电子邮箱:
*通讯地址:
*联系方式:

  备      注:

*上传稿件:

支持上传.doc,.docx,.pdf,.txt,.wps文件

投稿须知:

1、审稿结果将于1~7个工作日以邮件告知,请注意查收(包含录用通知书、审稿意见、知网CNKI查重报告)。

2、提交投稿后,若7个工作日之内未接到录用通知,则说明该文章未被录用,请另投他刊。

3、凡投寄本刊稿件,如在内容上有侵权行为或不妥之处,均应文责自负。本刊有权对来稿进行文字编辑、加工和修改,如不同意,请附说明,以便妥善处理。

4、多作者文稿署名时须征得其他作者同意,排好先后次序,通知用稿后不再改动。

5、凡投往本刊稿件一经录用发表,其版权归本刊所有。

6、本刊已全文录入中国知网、万方、维普等数据库,如作者不同意被收录,请提前申明,未申明者,本刊一律视为同意被收录。

7、请勿一稿多投。