基于MEMS电阻式压力传感器的设计
杜志1 贺建波2
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杜志1 贺建波2,. 基于MEMS电阻式压力传感器的设计[J]. 传感器研究,2019.12. DOI:.
摘要:
设计了一种应用于岩土工程中电阻式压力传感器。借助于微机械工艺(MEMS)在高弹性体聚二甲基硅氧烷(PDMS)内部嵌入微流孔,并填充新型液态金属(eGaIn)作为传感器的核心区域。结果表明:相对于传统压力传感器,采用软光刻技术微流孔尺寸可以达到μm级,精度更高;采用无毒,导电性好的新型材料液态金属,其适用性更广。
关键词: 高弹性体(PDMS)液态金属(eGaIn)压力传感器
DOI:
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