集成电路制造工艺课程的教学实践研究
张冷 李玉魁 张鹏展 徐志国 陈正宇
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张冷 李玉魁 张鹏展 徐志国 陈正宇,. 集成电路制造工艺课程的教学实践研究[J]. 电路系统研究,2020.7. DOI:.
摘要:
基于集成电路制造工艺课程的教学问题,提出了相应解决方案。这包括合理安排授课次序,对比各个单项工艺,将知识点生活化,及时更新教学材料,以及借助软件模拟开展实验教学等。
关键词: 集成电路;制造工艺;教学改革
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