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高精度位移测量系统硬件在环仿真优化设计
作者:
杨松1，2
张文涛1
熊显名1
王献英1
单位：
1.桂林电子科技大学电子工程与自动化学院；2.上海微电子装备(集团)股份有限公司
下载量：
41
浏览量：
436
全文下载：
PDF
DOI：
出刊日期：
2025-04-23
光刻机工件台解耦矩阵校准测试方法研究
作者:
汪杰君1
王剑峰1
张志钢2
单位：
1.桂林电子科技大学；2.上海微电子装备(集团)股份有限公司
下载量：
57
浏览量：
390
全文下载：
PDF
DOI：
出刊日期：
2025-04-23
利用飞秒激光刻写的光纤端面光栅的研究
作者:
谢康
单位：
华东光电集成器件研究所
下载量：
25
浏览量：
456
全文下载：
PDF
DOI：
出刊日期：
2025-04-11
采用300 nm周期孔阵图形提高P3HT:PCBM有机太阳能电池效率研究
作者:
韩晓媚1
李占国2
王勇1
卢小香1
单位：
1.长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室；2.长春理工大学光电工程学院
下载量：
77
浏览量：
401
全文下载：
PDF
DOI：
出刊日期：
2025-04-11
分步式压印光刻研究
作者:
邱志惠
丁玉成
刘红忠
卢秉恒
单位：
西安交通大学先进制造研究所，陕西西安，7100492
下载量：
80
浏览量：
520
全文下载：
PDF
DOI：
出刊日期：
2025-03-19
微加速度传感器的新进展
作者:
袁哲俊
胡忠辉
谢大纲
单位：
1.哈尔滨工业大学机电学院，黑龙江哈尔滨，1500012；2.哈尔滨工业大学机电学院，黑龙江哈尔滨，150001；3.哈尔滨工业大学机电学院，黑龙江哈尔滨，150001
下载量：
87
浏览量：
538
全文下载：
PDF
DOI：
出刊日期：
2025-03-19
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