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光刻机工件台解耦矩阵校准测试方法研究
作者:
汪杰君1
王剑峰1
张志钢2
单位:
1.桂林电子科技大学;2.上海微电子装备(集团)股份有限公司
下载量:
57
浏览量:
398
全文下载:
PDF
DOI:
出刊日期:
2025-04-23
晶面偏角对利用Voigt函数法计算硅单晶本征晶格应变的影响
作者:
朱杰
姬梦
马爽
单位:
同济大学物理科学与工程学院精密光学工程与技术研究所先进微结构材料教育部重点实验室
下载量:
64
浏览量:
423
全文下载:
PDF
DOI:
出刊日期:
2025-04-16
一种基于时测函数法的水表设计
作者:
王甲1
唐振宁1
李婉婷2
单位:
1.上海贝岭股份有限公司;2.西安微电子技术研究所
下载量:
70
浏览量:
460
全文下载:
PDF
DOI:
出刊日期:
2025-04-15
基于传递函数法的带外挂大柔性机翼颤振分析
作者:
张忠源1
段静波2
路平1
王龙3
单位:
1.陆军工程大学石家庄校区无人机工程系;2.石家庄铁道大学工程力学系;3.武警新疆总队直升机大队
下载量:
79
浏览量:
465
全文下载:
PDF
DOI:
出刊日期:
2025-04-11
基于隶属函数法的辣椒苗期耐冷性综合评价
作者:
张婷
郭勤卫
刘慧琴
李朝森
章心惠
崔文浩
项小敏
赵东风
单位:
衢州市农业科学研究院
下载量:
91
浏览量:
563
全文下载:
PDF
DOI:
出刊日期:
2025-03-21
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