文章标题
作者姓名
关键词
单位名称
检索
AI智能检索
学术期刊
首页
文章
期刊
投稿
首发
学术会议
图书中心
新闻
新闻动态
科学前沿
合作
我们
一封信
按学科分类
按期刊分类
医药卫生
(24)
工程技术
(42)
数学与物理
(12)
经济与管理
(12)
人文社科
(44)
化学与材料
(9)
信息通讯
(10)
地球与环境
(25)
生命科学
(2)
首页
>
基于MEMS电阻式压力传感器的设计
DOI
:
,
PDF
下载:
402
浏览: 468
作者
:
杜志1
;
贺建波2
;
作者单位
:
1.阿坝师范学院;2.重庆市地质环境监测站
;
关键词
:
高弹性体(PDMS)
;
液态金属(eGaIn)
;
压力传感器
;
摘要:
设计了一种应用于岩土工程中电阻式压力传感器。借助于微机械工艺(MEMS)在高弹性体聚二甲基硅氧烷(PDMS)内部嵌入微流孔,并填充新型液态金属(eGaIn)作为传感器的核心区域。结果表明:相对于传统压力传感器,采用软光刻技术微流孔尺寸可以达到μm级,精度更高;采用无毒,导电性好的新型材料液态金属,其适用性更广。
投稿
相关文章
应用免疫检查点抑制剂慢性阻塞性肺病治疗的探索
视觉规训、污名化叙事与个体展演——社交媒体中女性受害者形象呈现路径研究
集合解题教学中学生阅读与表达能力的培养策略研究
新时代民办高校心理委员胜任力的培养模式探析
探究针刺八髎穴对出口梗阻型便秘患者盆底肌及肛管直肠压力的影响
学术共建
清华大学出版社
北大中文系
国家工程技术数字图书馆
维普网
万方数据库
版权所有 © 2025 世纪中文出版社
京ICP备2024086036号-2