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基于微纳压印的柔性PDMS薄膜传感器设计
DOI
:
,
PDF
下载:
15
浏览: 446
作者
:
高孔超
;
黄尧
;
吴大鸣
;
范晓静
;
苏逢春
;
许红
;
作者单位
:
北京化工大学机电工程学院
;
关键词
:
传感器
;
微结构
;
PDMS
;
;
摘要:
利用性能优异的PDMS薄膜制备的新型柔性传感器柔性好、重复度高,可适应复杂曲面,其应用前景也十分广阔。采用PDMS薄膜为柔性基底,填充导电材料碳纤维制备传感元件,使用微纳压印的方法制备V槽形微结构把灵敏度提高到3.5 kPa-1;并总结出柔性PDMS薄膜传感器的制备方案,为柔性PDMS传感器的制备提供参考;最后按照实验设计对PDMS薄膜传感器的性能等方面开展了系统的研究。
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