摘要: 振动噪声的有效隔离是冷原子重力仪的关键技术之一.为了减小冷原子重力仪中拉曼反射镜的振动噪声，研制了一套紧凑型低频主动隔振系统.其原理是利用滑模鲁棒控制系统处理和反馈由地震仪采集到的振动信号，利用音圈电机控制和消除被动隔振平台的运动.在0.1—10 Hz频域范围内，滑模鲁棒控制系统的残余振动噪声功率谱密度比被动隔振平台最大降低了99.9%，比超前滞后补偿控制方法最大降低了83.3%.滑模鲁棒控制算法还具有整定参数少、抗干扰能力强等特点.