文章-世纪中文出版社

段路强《电路系统研究》 2018年9期

摘要:

<111>硅外延过程中图形漂移是影响外延质量的一个重要参数,在IC制造过程中,由于外延后的图形漂移使得后续光刻图形对偏情况时有发生,影响产品质量。本文通过对Si晶体的结构进行分析,解释了外延生长过程中图形漂移的原理,验证了温度对图形漂移量的影响,并根据理论分析,提出了一种新的外延漂移量监控方式。

钝化层刻蚀对厚铝铝须缺陷影响的研究下载：97 浏览：500

吴智勇《电路系统研究》 2018年3期

摘要:

国产中微机台在钝化层刻蚀工艺应用中发现容易导致后续的铝薄膜溅射工艺出现铝须缺陷(Whisker),进而造成产品出现开路/短路良率异常。影响AL whisker的因素很多,主要有两方面:一是由于AL film和上下地间TiN film之间热应力的不匹配容易导致AL whisker,其主要由铝溅射自身工艺能力决定;二是前层表面状况的影响。讨论中微机台刻蚀后的表面残留导致Al溅射后出现铝须缺陷的现象,并对其成因进行系统性分析,同时对其解决方案进行详细的介绍。

一种低使用成本的高精度曝光和测量技术下载：76 浏览：401

周畅1 徐兵1，2 朱岳彬1 《光电子进展》 2019年6期

摘要:

提出了一种使用小尺寸MASK(光罩)的高精度曝光技术,能够实现1.5μm分辨率,几乎可以忽略的MASK成本。同时以曝光控制技术为基础,提出了一种快速进行TP/OL/CD精确测量的技术,为降低国产设备的测量使用成本提供了研究方向,同时提高了国产屏的性价比,可大幅降低单点测量时间和测量成本。

TaN薄膜的等离子体增强原子层沉积及其抗Cu扩散性能下载：64 浏览：455

王永平丁子君朱宝刘文军丁士进《材料科学研究》 2019年9期

摘要:

使用Ta[N(CH3)2]5和NH3等离子体作为反物用等离子体增强原子层沉积工艺生长了TaN薄膜,借助原子力显微镜、X射线光电子能谱、四探针和X射线反射等手段研究了薄膜的性能与工艺条件之间的关系。结果表明,TaN薄膜主要由Ta、N和少量的C、O组成。当衬底温度由250℃提高到325℃时Ta与N的原子比由46:41升高到55:35,C的原子分数由6%降低到2%。同时,薄膜的密度由10.9 g/cm3提高到11.6 g/cm3,电阻率由0.18Ω?cm降低到0.044Ω?cm。与未退火的薄膜相比,在400℃退火30 min后TaN薄膜的密度平均提高了～0.28 g/cm3,电阻率降低到0.12～0.029Ω?cm。在250℃生长的3 nm超薄TaN阻挡层在500℃退火30 min后仍保持良好的抗Cu扩散性能。

兼顾可靠性和经济性的配电终端规划设计方法下载：75 浏览：439

何松生1,2 王于波1,2 姚庆党1,2 《电气学报》 2018年8期

摘要:

针对配电终端配置中盲目追求高可靠性的问题,提出了一种兼顾可靠性和经济性的配电终端规划设计方法。通过研究可靠性和经济效益之间的关系,提出了配电终端规划设计的思路,并结合供电区域的分类描述了规划设计的原则;重点提出了配电终端规划设计的步骤和方法,分析了三种配置模式的初始化选择以及如何进行各模式间的无缝切换;最后分析了供电可靠率和投资收益比的计算方法,并对三种配置模式进行了详细的评估论证。从可靠性和经济性出发,提出的设计方法对科学合理地进行配电终端配置有一定的指导意义。

一种用于质量和电荷传感的纳米谐振器分析和模拟下载：84 浏览：521

刘冰刘泽文王程伟方杰余文革刘理天《纳米技术研究》 2021年1期

摘要:

文章介绍了一种纳米双悬梁支撑微板谐振器.根据动力学微分方程模型,对器件的谐振特性进行模拟,结果表明,以Si3N4为功能材料,最小线宽175纳米的器件,其谐振频率18.1MHz.在常温真空环境下,采用静电驱动的双悬梁支撑结构,有效地抑制了扭转模式谐振的干扰.用该结构作质量传感器,精度达到6.25×10-19g/Hz,作电荷计,精度可以达到0.3e/Hz(e为电子电荷)。

微电子传感技术在机械自动控制的应用下载：87 浏览：832

王文江《纳米技术研究》 2025年2期

摘要:

延迟是一个非常严重的问题，信号传输的误差是由于延迟引起的，面对机械设备逐渐向自动控制发展过程中遇到的信号延迟问题，微电子传感器在信号延迟的控制中起到了很好的作用。微电子信号传感技术在机械设备智能控制中的应用是一种新的应用技术。该技术以外部信号为控制目标，利用多小波信号对微电子传感器信号进行变换。本文主要针对该项技术进行探讨。

浅析新时代的微电子工艺实验教学策略下载：99 浏览：1022

郭龙葛锦涛滕凡毅《纳米技术研究》 2024年1期

摘要:

随着社会发展和国际形势的风云变幻，科学技术在国际竞争中扮演着越来越重要的角色。科技带来的巨大生产力，为促进社会进步和提高国际地位发挥了重要作用。微电子工艺作为新兴科技的代表之一，是高科技产业发展的重中之重，也是核心。其对科技、军事和政治等发展产生了重大影响，是国家提升国际地位不可缺少的技术因子。微电子工艺的发展也受到了充分的重视，国家大力发展微电子工艺实验教学，并根据时代发展和形势变化的需要，不断对高校微电子工艺教学提出相应的改革和调整。

基于创新思维能力培养的《微电子器件》课程教学改革探索下载：95 浏览：1012

姚尧石跃陈昌明李蠡《纳米技术研究》 2024年4期

摘要:

《微电子器件》课程存在知识点多且概念较为抽象的特点，主要侧重于理论知识的传授，很难激发学生的创新思维能力培养。针对这一问题，本文提出了一系列教学改革措施，包括新颖性和多向性这两个方面，旨在通过激发学生的创造力和解决问题的能力，促进其创新思维的发展。通过对实施效果的评估和分析，验证了这些教学改革措施的有效性和可行性。本文的研究成果为《微电子器件》课程的教学改革提供了有益的借鉴和参考，对于促进学生综合素质的提升和培养创新型人才具有重要意义。

微电子技术在航空电子系统中的应用下载：121 浏览：1519

何夏栋郑相如李龙龙《中国航空航天科学》 2022年5期

摘要:

随着时代的进步，航空电子系统的发展对综合性的要求更高，而微电子技术在航空电子系统中的应用能够更进一步的推动航空电子系统朝着更综合更系统的方向发展。随着我国进入社会主义新时代，科学技术的发展更加高速，微电子技术得到了充分的发展。微电子技术是一种先进的技术，代表着国家的综合国力，没有微电子技术的出现就没有当今的信息时代，因此微电子技术被国家高度重视，在各个领域开展广泛的应用。其中航空电子系统需要更加先进的核心技术力量的支持，微电子技术的应用更是锦上添花。本篇将围绕微电子技术的具体内容进行探讨，并在了解微电子技术的基础上对微电子技术在航空电子技术应用进行探讨。希望通过对微电子技术在航空电子系统中的应用探讨能够给航空事业的发展做出贡献。

微电子技术在航空系统中的应用下载：265 浏览：1669

李增荣《电路系统研究》 2023年4期

摘要:

航空事业的发展给微电子技术的创新带来了契机。微电子技术在航空系统中的应用，可以促进航空系统不断向着综合化和模块化的方向发展，使得航空系统愈发完善。本文以微电子技术的概念作为切入点，对微电子技术在航空系统中的应用进行了全面的分析和介绍，并且憧憬了航空电子系统未来的发展趋势。

无刷直流电机驱动电路的设计下载：334 浏览：2372

郭俊波任志伟《电路系统研究》 2022年11期

摘要:

无刷直流电机将电力电子技术、计算机技术等多种先进技术结合了起来，可以弥补有刷直流电机会产生运行摩擦火花等不足，在诸多领域中占据着重要地位。而驱动电路是无刷直流电机的关键构成部分，但传统的驱动电路设计具有结构复杂、可靠性低等问题，因此本文对无刷直流电机驱动电路的优化设计进行了简要分析，以期为无刷直流电机的优化提供帮助。从实际情况来看，在进行驱动电路设计时需要根据无刷直流电机的结构、原理以及驱动方式进行光耦隔离电路、三相逆变功率驱动电路等方面的设计。

集成电路ESD注入损伤效应及注入电压与能量间的关系下载：339 浏览：2414

丁伯继《电路系统研究》 2022年10期

摘要:

确定电子元件的损伤阈值是决定元件功率值的主要因素，选择方波单脉冲的电流内应力法，选取特定的脉宽进行测试。目前方波注入实验是按照GJB538-88中的相关规定进行的，但是GJB538-88并没有将方波引起的辐射源场和高频的反射问题纳入计算范围之内。因此，通过选择专用的检测工具和设备，对检测的规范进行了改进，对74LS08的系统电子设备74LS08进行了方波注入实验，得到了74LS08的主要参数随脉冲宽度变化规律。

测量仪器与现代微电子、计算机和软件技术的融合下载：267 浏览：2681

靳敏杰《中国仪器》 2021年3期

摘要:

改革开放以来我国的市场经济体制已经得到了飞速的发展和不断的完善，我国已经迅速成为世界上的第二大经济体，我国社会经济的飞速发展与现代科学技术的飞速发展有着极为密切的联系。许多传统的行业都在逐渐的引入计算机互联网技术，极大的促进了社会的进步与发展过程。我们在本篇文章中就主要从现代无线和有线通讯技术的发展背景下，测量仪器如何成功实现与现代微电子，计算机和软件技术之间的巧妙的融合。并且对于当前的测量仪器的发展现状和应用中存在的一些缺点问题以及相应的解决方法进行一个简单的分析。

基于嵌入式GPU的AI加速推理技术研究下载：161 浏览：1709

卢孟《国际科技论坛》 2023年4期

摘要:

在计算机技术急速发展的社会背景下，视觉任务领域算法要求越来越高，使得推理速度概念的推出。卷积神经网络具有较大的参数量，并且占用计算资源与内存较大，而嵌入式设备的各项功能不能满足相关要求，因此，嵌入式平台的硬件计算需要采用加速推理技术的实现。

人工智能技术的新能源发电系统故障检测与智能维护研究下载：109 浏览：1291

梁诗阳《人工智能研究》 2024年9期

摘要:

在全球能源需求的增长，以及人们对环境保护越来越重视的背景下，新能源发电系统的应用越来越广泛。但相关系统在运行和管理中存在着多方面的故障风险，需要采取可靠的检测和维护措施。本文针对性探讨了人工智能技术在新能源发电系统故障检测与智能维护中的应用价值和具体措施，首先分析了机器学习和深度学习在故障检测中的具体应用，提出了数据驱动与模型驱动相结合的检测技术。研究了基于人工智能的预测性维护和自适应维护策略，探讨了实现智能维护的关键技术，如数据采集与处理、算法优化、实时分析。

图神经网络及其应用探讨下载：86 浏览：1023

1乌达巴拉 2寇婕婷《信息通信与技术》 2024年8期

摘要:

图神经网络旨在利用深度学习模型学习图结构数据，提取和发掘图结构数据中的特征和模式。图神经网络作为一种重要的图数据分析挖掘工具之一，已经在许多应用中取得了不错的成绩。本文从机器学习角度探讨图神经网络模型的通用框架以及图神经网络在自然语言处理领域中的应用。

刍议人工智能技术在电气自动化中的应用下载：246 浏览：2574

李兵《人工智能研究》 2022年5期

摘要:

随着时代发展和科技进步，电气自动化控制技术在各行各业中获得大量运用，近年来人工智能技术获得进一步推广，在电气自动化领域发展中发挥出重要作用。本文对人工智能技术的概念和特点进行梳理，探讨其在电气自动化领域中的运用，从而为电气自动化技术创新发展带来推动力。

无色透明聚酰亚胺材料及单体的应用和市场分析下载：214 浏览：2424

王聪聪1 朱星驰2 高晖晖3 《新材料》 2023年11期

摘要:

无色透明聚酰亚胺材料是一种新型高性能聚合物材料，具有优异的机械性能、耐热性能、化学稳定性和光学透明性。随着现代科技的不断发展，无色透明聚酰亚胺材料已经广泛应用于多个等域，并且具有广阔的市场前景。本研究主要分析无色透明聚酰亚胺材料及单体的市场情况，分析其在光学、电子、汽车等领域的应用，为相关领域提供参考。

离子注入高分子材料的导电特性研究动态及应用下载：368 浏览：2720

丁伯继《新材料》 2022年6期

摘要:

离子注入聚合物因有望用于微电子、表面防护和光学等领域，备受各界的关注。目前，有不少离子注入聚合物的相关实验，从离子、聚合物二者的相互作用导致聚合物在结构、电学、力学和光学方面的变化进行研究。本文将对离子注入高分子材料后的导电特性的研究进展和结果作一总结。

	在线客服
	客服电话：400-188-5008
	客服邮箱：service@ccnpub.com
	投诉举报：feedback@ccnpub.com

	在线客服：：点击联系客服
	联系电话：：400-188-5008
	客服邮箱：：service@ccnpub.com
	投诉举报：：feedback@ccnpub.com