我要投稿 查看投稿进度
学术期刊
在线客服
客服电话：400-188-5008
客服邮箱：service@ccnpub.com
投诉举报：feedback@ccnpub.com
人工客服

工作时间（9：00-18：00）
官方公众号

科技成果·全球共享

请选择 目标期刊

MEMS器件真空封装用非蒸散型吸气剂薄膜研究概述 下载：78 浏览：421

周超 李得天 周晖 张凯锋 曹生珠 《新材料》 2019年5期

摘要:
MEMS器件是机械电子系统未来的发展趋势。许多MEMS器件需要进行真空封装，从最大程度地减少残余气体，且真空封装水平的高低决定了器件的性能优劣甚至决定器件能否正常工作。常规的MEMS器件封装是在真空腔内放置块体吸气剂，占空间且容易产生微小颗粒污染。在器件的真空腔室内镀上吸气剂薄膜，吸气剂薄膜在器件高温键合的同时被激活，就可在后期维持真空腔内的真空度。非蒸散型吸气剂薄膜激活后在室温下即具有优异的吸气性能，应用于MEMS器件真空封装可以提高器件的寿命和可靠性。目前，提高非蒸散型吸气剂薄膜的吸气性能，降低其激活温度是国内外研究的焦点。本文简要介绍了非蒸散型吸气剂薄膜的吸气原理，从膜系材料和制备技术两方面分析了国内外研究现状。在膜材料方面，目前采用ⅣB族+ⅤB族组合的三元合金作为非蒸散型吸气剂薄膜的膜系材料。另外，在材料中掺入Fe、稀土元素等进行薄膜结构的修饰也是较常用的手段。值得指出的是，TiZrV合金薄膜是兼具较好的吸气性能和最低激活温度的非蒸散型吸气剂(NEG)薄膜。在制备技术方面，MEMS器件用非蒸散型吸气剂薄膜一般采用磁控溅射镀膜，磁控溅射镀膜工艺的关键是制备出柱状的纳米晶结构，该结构存在大量的晶界，可促进原子的扩散，降低激活温度。磁控溅射镀膜工艺的研究围绕靶材选择、基片温度、溅射电压、溅射气氛等。探索综合性能更优的新型材料体系和增大薄膜的比表面积仍然是目前非蒸散型吸气剂薄膜研究的关键。本文最后对非蒸散型吸气剂薄膜的研究趋势进行了展望，指出加入调节层的双层膜的激活性能和吸气性能优于单层膜，但调控机理有待明确，今后可以在TiZrV薄膜研究的基础上进一步进行双层薄膜的研究，也可横向拓展进行新型薄膜体系，如ZrCoRE等新型合金薄膜的研究。

基于事件的WSANs执行器调度多目标优化研究 下载：10 浏览：310

栗志强 周晖 罗佳华 《传感器研究》 2018年5期

摘要:
无线传感器执行器网络中,事件增多导致执行器调度难度加大。针对上述问题,提出离散多目标优化Cuckoo Search算法,以任务响应时间、能量消耗、网络能量均衡为目标适应值函数,在WSANs的执行器调度中寻求近似Pareto最优解集。仿真研究表明:所提算法可以有效实现执行器的合理调度,在任务响应时间、能量消耗和网络生命期方面优于归一化算法。

基于Taft地震波作用下的杆件屈曲对K8型网壳结构稳定性影响分析 下载：44 浏览：287

马斌1 马腾飞2 魏昕2 周晖2 《航空航天学报》 2018年2期

摘要:
网壳结构的动力稳定性是空间结构研究的重要课题之一。目前,对于网壳结构动力稳定性的研究很少有考虑杆件屈曲这一因素的影响。本文在前有研究成果的基础上,以多段梁法模拟杆件的初弯曲,通过削减杆件截面,使其先于网壳结构整体失稳之前首先屈曲,研究在Taft地震波作用下,不同位置处、不同根数的杆件屈曲对K8型单层球面网壳结构整体稳定性的影响。

将兴趣教学法引入初中体育教学的研究 下载：189 浏览：1991

周晖 《体育研究》 2023年6期

摘要:
初中是学生身心发展的一个重要时期，只有拥有强健的体魄，学生才能安心学习。学校体育教学不仅对学生的身体健康发育有益，对他们的学习和生活也有积极影响。然而，传统的初中体育教学大多采取“三模块”模式，即先热身，然后教学新内容，最后以热身运动收尾。这种固定模式的体育教学方式比较僵化，不能满足学生个性化的需求，更无法提高学生对体育运动的兴趣。因此，兴趣教学法在体育教学中的运用显得尤为重要。

道路施工过程中的路基路面质量控制研究 下载：194 浏览：2475

魏周晖 《交通技术研究》 2023年1期

摘要:
在当下我国的道路运输等各项基础设施正在不断地建设，得到了有效的改善，但是在道路施工进行的过程当中，还有很多问题存在。对此需要有关部门提高质量管理的力度，严格地对路基路面进行审核，对路基质量进行保障，从而使得道路的使用寿命有所提升，方便人们的日常出行和生活。在道路建设的过程当中，路基路面的质量控制是非常重要的一点，如何才能够严格地把控其中的质量水平，降低其中安全事故出现的几率，是道路施工当中需要重视的关键问题，本文将对此进行简要的分析。
[1/1]
|<
<
1
>
>|
在线客服：：点击联系客服
联系电话：：400-188-5008
客服邮箱：：service@ccnpub.com
投诉举报：：feedback@ccnpub.com
人工客服

工作时间（9：00-18：00）
官方公众号

科技成果·全球共享