激光微加工技术在集成电路制造中的应用 下载：231 浏览：2330

​陆晓凯 《电路系统研究》 2022年11期

摘要: 随着科学技术的日新月异，激光技术具有纯熟的应用。激光微加工技术因效率高、无污染、精度高、热影响较小的特征在各行各业中获得广泛运用。本文通过集成电路制造，分析了激光微加工技术的应用，为激光微加工技术的未来发展提供保障。