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碳纤维基底真空沉积膜层的设计研究 下载：90 浏览：442

翁艺航1 史耀强2 赵志杰1 邙晓斌1 侯俊1 《中国航空航天科学》 2020年4期

摘要:
天线反射器是卫星有效载荷中最重要的部分,是实现对地探测、反映产品探测灵敏度的关键部件。为保证碳纤维基底天线反射器在轨工作精度,同时满足特定的热控属性、电属性需求,提出采用真空沉积法在碳纤维基底表面镀制粘结膜层(Ni Cr)、反射膜层(Al)、保护膜层(SiO2)的膜层设计方法。通过在试片上镀制膜层并测试,验证碳纤维基底真空沉积膜层的可行性。

金刚石膜及类金刚石膜的光学应用研究 下载：89 浏览：1814

黄杰文 王浩宇 《中国科学研究》 2022年3期

摘要:
采用微波等离子体CVD方法沉积的金刚石膜晶粒尺寸仅约0.2μm，表面非常平整，可无需抛光直接应用于红外波段，飞秒激光、RF-PECVD法等沉积技术也在不断进步，X射线光刻掩膜和窗口、红外光学器件涂层等金刚石膜及类金刚石膜光学涂层已经开始实用化。由于二者在硬度、弹性、摩擦、化学稳定性、透过率、抗损伤等方面具有良好的性能，可实现硅和锗增透，以及作为玻璃及硫化锌保护膜，在光学元件中具有良好的应用价值。
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